臺灣半導體產業將受沖擊

面對即將到來的變革，臺灣卻沒有做好準備。臺灣倚仗的半導體業，由于制程精細，若出現單位制度上的誤差，很可能影響良率。

《中國時報》報道稱，若無法在明年跟上最新制度，對半導體業恐造成影響，因為化學溶液量測誤差會導致降低良率。提升檢測設備的費用高達6億臺幣，“經濟部標檢局”目前經費仍無著落。

隸屬臺灣“經濟部”的“國家度量衡標準實驗室”傳出消息，目前仍籌不到經費，無法跟進，千克量測校正標準將降為二級。這樣一來，將沖擊講求精準度的“納米”晶圓制程校正，生產機器、設備校正都會受影響，因國際標準拉高，相對地，臺灣半導體良率會被拉低。

臺灣標檢局官員指出，四項改變中最重要的是“千克”定義的改變。臺灣1995年引進IPK，放在新竹工研院的“國家度量衡研究室”。由于“經濟部標檢局”面臨“無錢可編”的窘境，將無法在明年跟上國際腳步。而在半導體制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴特定化學溶液，這些化學溶液量測如果有一點點誤差，都會影響良率。

以先進的臺積電與聯電晶圓制程來說，良率均高達95%，新標準改變將被拉低多少良率?據臺灣標檢局官員分析，這將視不同生產線與產品而定，但千克新標準會比舊的精準2到4倍，將有一定程度影響。

大陸做好準備了嗎？

那么，面對明年的計量變革，大陸做好準備了嗎?可以說，關鍵技術已經有了突破。

據中國計量網報道，今年3月，由中國計量院承擔的國家質檢總局科技計劃項目“高準確度真空質量測量系統的建立”項目通過驗收。項目首次在我國建立了最大量程1kg的高準確度真空質量測量裝置，真空質量測量重復性、靈敏度達到國際先進水平，成功解決了2018年國際質量單位千克重新定義后質量量值傳遞技術關鍵問題。

由于未來的質量單位將在真空中實現，而日常生活的質量工作標準——砝碼仍是在空氣中使用的，這給質量量值的傳遞方式帶來了一系列問題——除了需要將保存在真空中的質量標準傳遞到空氣中外，還必須對環境參數進行測量和實時修正。

從2013年起，中國計量院圍繞質量單位新定義之后質量量值傳遞關鍵技術開展了系列研究。經過多年努力，項目組在真空質量測量、真空質量標準的傳遞，以及異型砝碼表面吸附測量和修正等方面取得了一系列創新成果，建立了測量靈敏度優于0.1μg、滿載重復性優于0.47 μg、測量擴展不確定度25 μg(k=2)的高準確度真空質量測量裝置;形成了不同材料砝碼表面吸附率測量、不確定度評估和吸附修正，空氣密度測量，砝碼交換稱量等一系列具有自主知識產權的技術。

項目建立的高準確度真空質量測量裝置成功解決了砝碼真空質量測量時系統穩定性和保持高真空度之間的矛盾;采用的非接觸式分子泵散熱方法和多點位多參數循環監測方法，顯著提高了裝置的測量重復性和穩定性。此外，項目還實現了多種砝碼表面吸附與其逆過程的精確分析，吸附測量擴展不確定度0.0011 μg/cm2(k=2)，達到了國際先進水平。

科學家早已開始行動，不過，相比臺媒的先知先覺，對世界測量技術規則的改變，相關產業如何應對，截止觀察者網發稿，大陸主流媒體并未進行專門報道和宣傳。【文/ 觀察者網 孫武】